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美光新加坡Fab 10工廠擴建完成 下半年投產96層3D NAND

2019-08-18 08:52來源:99科技綜合編輯:時寒峰

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  原標題:美光新加坡Fab 10工廠擴建完成 下半年投產96層3D NAND

  美光本周在新加坡舉辦了慶祝 Fab 10 工廠擴建順利完成的儀式。盡管新的潔凈室不會增加該公司每月的晶圓產能,但卻能讓美光技術使用更先進的 3D NAND 工藝技術,生產具有更高層數和比特位密度的產品。實際上,Fab 10 Expansion 是由多個部分組合而成的,包括了此前的 Fab 10N 和 Fab 10X 設施。

  官方指出,新 3D NAND 生產設施占地 16.5 萬平米。至于潔凈室的空間、以及其它擴展功能部分,美光暫未透露。

  目前該工廠正在設備安裝階段,預計可在 2019 下半年(未來 4-5 個月)投產 96 層 3D NAND 。至于具體的生產安排,將依實際需求而定。

  在設備齊全之后,這里也不會增加任何新的晶圓容量,而是容納更多 3D NAND 層數制造所需的、更先進的工藝設備。

  據悉,隨著 3D NAND 層數的增加,每片晶圓都需要在化學氣相沉積(CVD)機器中耗費更多的時間,意味著蝕刻的工藝流程會被拖得更久。

  此外,美光還會運用更多奢侈的生產技術。為了保持晶圓處理數量的一致性,閃存制造商必須在潔凈室中加裝額外的 CVD 和蝕刻機,這對設施空間提出了額外的要求。

  綜上所述,盡管 Fab 10 Expansion 可能不會提升美光新加坡工廠的每月晶圓數量,但確實可在 NAND 閃存生產方面實現一定的增長。

  最后,除了新的制造工廠,美光還將擴大在新加坡的研發業務。其 NAND 卓越中心著力進行技術研發和產品工程,以進一步提升 Fab 10 工廠的產能和良率。

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