國內首臺新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備成功試產
2020-12-26 10:21來源：鈦媒體編輯：時寒峰
原標題：國內首臺新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備成功試產
12 月 25 日消息，近日，由西安理工大學和西安奕斯偉設備技術有限公司共同研制的國內首臺新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備在西安實現一次試產成功。雙方共同研制的面向產業化應用的硅單晶生長成套設備按照集成電路硅單晶材料的要求，成功生長出直徑 300mm，長度 2100mm 的高品質硅單晶材料。實現了采用自主研發的國產技術裝備，拉制成功大尺寸、高品質集成電路級硅單晶材料的重大突破并實現產業化。
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